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Transparent Quartz Glass for the Semiconductor Industry.doc
我公司生产的气炼透明石英玻璃以高纯水晶为原料,采用氢氧焰
熔融方法制成,SiO2含量高、透明无气泡、耐高温、抗变形、抗析晶性能好,制成的各类棒、管、坩埚、炉管、舟具以及各种仪器、器皿等,广泛用于半导体电子工业及实验室。尤其是当前太阳能光伏产业发展迅速,我公司研制的气炼一步法大口径透明石英玻璃炉管以及采用一次成型新工艺生产的源瓶已被国内数家大公司使用,替代进口品。
㈠ 半导体、光伏产业用透明石英玻璃相关性能
1、化学性能:
石英玻璃除氢氟酸,对大多数酸性、碱性及中性物质均有良好的抗侵蚀性能。
气炼石英玻璃的羟基含量:200 ppm 左右。
气炼石英玻璃的化学纯度 (单位:ppm)
元素 |
Al |
Fe |
Ca |
Mg |
Ti |
Pb |
Mn |
Ni |
Co |
Cu |
K |
Na |
Li |
B |
总含量 |
含量 |
10~30 |
0.4~1 |
0.18~2 |
1 |
1.4 |
0.1 |
0.024 |
0.1 |
- |
0.012 |
2 |
2 |
0.2 |
0.3 |
≤50 |
2、热性能:
① 透明石英玻璃在0~1000℃的平均热膨胀系数为5.4×10-7/℃。
② 析晶温度:起始温度为1000℃左右,但表面受沾污都会降低析晶温度和加速析晶过程。
③ 常规使用温度:连续使用温度1050℃左右;
间断使用温度1250℃左右。
④ 几个特征温度:应变温度1075℃左右;退火温度1180℃左右;
热加工温度1700~2100℃。
㈡ 几种常用石英玻璃产品及规格: (单位:mm)
品名 |
外径 |
壁厚 |
高度(长度) |
透明石英玻璃坩埚 |
80~130 |
2.0~2.8 |
60~110 |
134~150 |
2.0~3.5 |
80~130 |
200~210 |
3.5~4.5 |
140~160 |
225~270 |
4~5 |
155~190 |
透明石英玻璃炉管 |
40~130 |
2~5 |
1000~2500 |
140~210 |
3~6 |
220~280及以上 |
4~7 |
仪器及器皿 |
按客户要求承接各类石英板、棒、槽舟;石英源瓶、 清洗缸;石英钩、铲、托架等 |